OM-自動(dòng)顯微鏡係(xi)統

傳(chuan)片功能(néng)支持EFEM+ROBOT

全自動(dòng)，CCD成(cheng)像

全自動(dòng)走(zou)位+自動(dòng)對焦+CCD成(cheng)像

數(shu)據可(kě)追溯

高(gao)精(jīng)度，高(gao)穩定性

可(kě)配(pei)置多(duo)工(gong)作(zuò)站點，多(duo)機(jī)檯(tai)數(shu)據的(de)彙總

實現(xian)缺陷的(de)AOI檢(jian)測(ce)

聯(lian)係(xi)我(wo)們

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