加(jia)裝(zhuang)型宏觀AOI係(xi)統

1、加(jia)裝(zhuang)在(zai)Robot傳(chuan)送晶圓的(de)路徑中(zhong)

2、傳(chuan)送過(guo)程(cheng)中(zhong)晶圓宏觀AOI檢(jian)測(ce)

3、清(qing)洗、研磨等(deng)站點可(kě)大(da)量使用(yong)

4、16K*16K分(fēn)辨率，12寸晶圓單(dan)像素精(jīng)度18.75um

5、可(kě)檢(jian)測(ce)Scratch，劃痕、崩邊、缺角、破片、水痕、殘留等(deng)缺陷

聯(lian)係(xi)我(wo)們

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